英國雷尼紹公司激光干涉儀(ML10 Gold)
 
項 目
單 位
參 數(shù)
線性測量分辨率 um 0.001
測量范圍 m 40
線性測量精度 ppm ±? 0.7
最高測量速度 m/min 60
長期穩(wěn)頻精度 ppm ± 0.05
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